Статья

Исследование плазмы
2025. Т. 63. № 4. С. 475–480
Крайнов В.П., Смирнов Б.М.
Вакуумное ультрафиолетовое излучение плазменной струи
Аннотация
Представлена связь между излучательными параметрами горячей плазмы за счет фоторекомбинации электронов и ионов. Полученные соотношения применены для анализа газоразрядной гелиевой плазмы, исследованной экспериментально в рамках конкретной схемы газового разряда. Показано, что такая плазма, из которой выделена центральная часть в результате истечения из области газового разряда через отверстие, является эффективным источником излучения в области вакуумного ультрафиолета. Такой источник может быть использован для литографии.
Ссылка на статью:
Крайнов В.П., Смирнов Б.М. Вакуумное ультрафиолетовое излучение плазменной струи, ТВТ, 2025. Т. 63. № 4. С. 475

High Temp. 2025, v.63, №4, pp. 0-0