Статья
Исследование плазмы
2002. Т. 40. № 5. С. 693–697
Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.И.
Электрические и оптические характеристики поперечного объемного разряда в хлоре
Аннотация
Приводятся результаты исследования электрических характеристик и излучения плазмы поперечного объемного разряда в хлоре при давлении 0.1–1.5 кПа. Разряд зажигался в объеме 18×2.2×(0.5–1.0) см3 (межэлектродное расстояние равнялось 2.2 см) при зарядном напряжении 5–10 кВ. Излучение плазмы исследовалось в области 190–900 нм. Получен устойчивый объемный разряд с длительностью импульса тока до 100 нс, который может использоваться в ультрафиолетовой бактерицидной лампе (200–257 нм) и в импульсном плазмохимическом реакторе сухого травления. Определены диагностические полосы молекулы Cl2, спектральные линии атома Cl и проведена оптимизация интенсивности их излучения в зависимости от давления в разрядной камере.
Ссылка на статью:
Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.И. Электрические и оптические характеристики поперечного объемного разряда в хлоре, ТВТ, 2002. Т. 40. № 5. С. 693
High Temp. 2002, v.40, №5, pp. 639-643
Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.И. Электрические и оптические характеристики поперечного объемного разряда в хлоре, ТВТ, 2002. Т. 40. № 5. С. 693
High Temp. 2002, v.40, №5, pp. 639-643