Статья

Архив, 1998, № 1

Исследование плазмы

1998. Т. 36. № 1. С. 5–12

Лебедев Ю.А., Солдатова И.В., Эпштейн И.Л., Холодкевич О.И.

Резонаторный СВЧ-разряд в смеси водорода с метаном

Предложена физическая модель процессов в плазме СВЧ-разряда в смеси $\mathrm{H}_2 + \mathrm{CH}_4(2\%) + \mathrm{Ar}(2\%)$ в диапазонах давлений $0.7$–$4.0$ Тор и поглощенной плазмой мощности $3$–$60$ Вт (объем плазмы – $10$ см$^3$). Использованы методы эмиссионной спектроскопии, реабсорбции излучения и двойных электрических зондов. Экспериментальные результаты проанализированы совместно с данными математического моделирования. Исследовано влияние газовых добавок на свойства плазмы. Оценены возможности применения метода актинометрии для диагностики плазмы. Обсуждены некоторые свойства пленок, осажденных на $\mathrm{Si}$-подложках в такой плазме.

УДК: 533.932
WoS: 000072269700001

Ссылка на статью:
Лебедев Ю.А., Солдатова И.В., Эпштейн И.Л., Холодкевич О.И. Резонаторный СВЧ-разряд в смеси водорода с метаном, ТВТ, 1998. Т. 36. № 1. С. 5

High Temp. 1998, v.36, №1, pp. 1-8