Статья
Исследование плазмы
1999. Т. 37. № 2. С. 188–193
Шуаибов А.К.
Диагностика плазмы импульсно-периодического излучателя на молекулах KrCl/KrF/Cl2
Аннотация
Представлены результаты спектроскопической диагностики плазмы эксимерного излучателя на системе полос 222 нм KrCl/249 нм KrF/258 нм Cl2, возбуждаемого при помощи импульсно-периодического поперечного разряда в смесях He(Ar)/Kr/CF2Cl2(CCl4,HCl). Исследовались обзорные спектры, временные и ресурсные характеристики излучения плазмы. В плазме на основе гелиевых смесей наблюдалось излучение материала электродов поперечного разряда (FeI∗), проявляющееся при наличии УФ-излучения эксимерных молекул. При умеренном напряжении питания наиболее эффективными рабочими средами были смеси Ar(He)/Kr/CF2Cl2(P=20−30 кПа). Использование молекул CF2Cl2 в качестве единого носителя хлора и фтора позволило реализовать многоволновой режим работы УФ-излучателя на KrCl/KrF/Cl2 с соотношением яркости полос 9/1/1. Показано, что в средах на основе CF2Cl2 основной вклад в образование эксимерных молекул вносят процессы с участием CF2Cl2, а молекулы CCl4 непосредственного участия в образовании KrCl не принимают.
Ссылка на статью:
Шуаибов А.К. Диагностика плазмы импульсно-периодического излучателя на молекулах KrCl/KrF/Cl2, ТВТ, 1999. Т. 37. № 2. С. 188
High Temp. 1999, v.37, №2, pp. 166-171
Шуаибов А.К. Диагностика плазмы импульсно-периодического излучателя на молекулах KrCl/KrF/Cl2, ТВТ, 1999. Т. 37. № 2. С. 188
High Temp. 1999, v.37, №2, pp. 166-171