Статья

Исследование плазмы
1999. Т. 37. № 2. С. 202–208
Магунов А.Н., Лукин О.В., Гасилов А.Ю.
Измерение температуры газа в ВЧ-разряде низкого давления методом сканирующей калориметрии
Аннотация
Рассматривается нестационарный метод определения температуры газа в разряде по температурной кинетике массивного калориметра после зажигания разряда. Проведены измерения температуры газа в ВЧ-разрядах в $\mathrm{He}$, $\mathrm{Ar}$, $\mathrm{O}_2$, $\mathrm{N}_2$ и $\mathrm{CF}_4$ при разных уровнях вкладываемой мощности. Получены зависимости температуры газа в разрядах в $\mathrm{Ar}$, $\mathrm{N}_2$ и $\mathrm{O}_2$ от давления в диапазоне $10$–$100$ Па.

УДК: 533.924+536.24
WoS: 000079789700004
Ссылка на статью:
Магунов А.Н., Лукин О.В., Гасилов А.Ю. Измерение температуры газа в ВЧ-разряде низкого давления методом сканирующей калориметрии, ТВТ, 1999. Т. 37. № 2. С. 202

High Temp. 1999, v.37, №2, pp. 180-186