Статья

Исследование плазмы
1998. Т. 36. № 2. С. 194–200
Автаева С.В., Мамытбеков М.З., Оторбаев Д.К.
Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном
Аннотация
Изучены параметры метаносодержащей плазмы в асимметричном высокочастотном разряде емкостного типа, активированном внешним магнитным полем. Для диагностики параметров плазмы ис­пользовались методы оптической эмиссионной спектроскопии, двойной зонд Ленгмюра и термопара. Экспериментально определены температура газа, вращательная температура возбуждения радика­лов $\mathrm{CH}$, температура электронов, концентрация заряженных частиц и концентрация атомарного во­дорода. В качестве рабочих газов использовались метан, аргон и смеси метана с аргоном. Проведе­но исследование осаждения в метаносодержащей плазме углеродосодержащих пленок на стеклян­ные подложки и изучены оптические свойства пленок. Показано, что магнитное поле существенно влияет на параметры плазмы и на свойства осаждаемых в высокочастотном разряде углеродосодер­жащих пленок.

УДК: 533.224:541.110
WoS: 000073142400003
Ссылка на статью:
Автаева С.В., Мамытбеков М.З., Оторбаев Д.К. Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном, ТВТ, 1998. Т. 36. № 2. С. 194

High Temp. 1998, v.36, №2, pp. 176-182