Статья

Архив, 1995, № 1

Теплофизические свойства веществ

1995. Т. 33. № 1. С. 33–39

Жиляков Л.А., Костановский А.В., Кириллин А.В.

Синтез бинарных соединений на твердой поверхности путем фотоактивации адатомов компонентов на примере $\mathrm{AlN}$

На основе анализа процесса образования тонких пленок нитрида алюминия при реактивном испарении его конденсированной фазы в атмосфере азота рассмотрен и предложен механизм образования бинарных соединений на твердой поверхности. Показана роль фотоактивации адатомов компонентов (адатомов алюминия при синтезе пленок нитрида алюминия). Определены требования к энергетическим параметрам активирующего излучения для протекания реакции синтеза.

УДК: 539.216
WoS: A1995QM61500005

Ссылка на статью:
Жиляков Л.А., Костановский А.В., Кириллин А.В. Синтез бинарных соединений на твердой поверхности путем фотоактивации адатомов компонентов на примере $\mathrm{AlN}$, ТВТ, 1995. Т. 33. № 1. С. 33

High Temp. 1995, v.33, №1, pp. 30-35