Статья

Архив, 1995, № 6

Исследование плазмы

1995. Т. 33. № 6. С. 850–854

Лебедев Ю.А.

Параметры электронной компоненты метансодержащей водородной СВЧ-плазмы в резонаторе

Представлены результаты исследования плазмы резонаторного СВЧ-разряда в смеси $\mathrm{H}_2+2\%\mathrm{CH}_4+2\%\mathrm{Ar}$ методом двойных электрических зондов. Давление в разрядной трубке $0.7$–$4$ Тор, энерговклад в плазму $5$–$55$ Вт (объем плазмы $\sim10$ см$^3$). Показано, что ионный ток насыщения линейно зависит от поглощенной плазмой мощности и в исследованном диапазоне параметров удельный энерговклад в расчете на один электрон не зависит от поглощенной мощности. Температура электронов не зависит от энерговклада и уменьшается при увеличении давления. Рассмотрены вопросы, связанные с ионным составом плазмы и с изменением объема плазмы при изменении энерговклада.

УДК: 533.9.08
WoS: A1995TR82800005

Ссылка на статью:
Лебедев Ю.А. Параметры электронной компоненты метансодержащей водородной СВЧ-плазмы в резонаторе, ТВТ, 1995. Т. 33. № 6. С. 850

High Temp. 1995, v.33, №6, pp. 846-850