Статья

Архив, 1992, № 2

Теплофизические свойства веществ

1992. Т. 30. № 2. С. 290–293

Жиляков Л.А., Костановский А.В.

Оптические свойства тонких пленок нитрида алюминия

Представлены результаты измерений оптических констант (показателя преломления и коэффициента поглощения) тонких пленок нитрида алюминия (ТП $\mathrm{AlN}$), полученных методами термического азотирования чистого алюминия и реактивного испарения нитрида алюминия, в УФ-, видимой и ближней ИК-областях спектра. Отмечены высокая прозрачность в исследуемой области спектра, а также влияние структуры на оптические свойства ТП $\mathrm{AlN}$.

УДК: 621.315.592
WoS: A1992LB60000011

Ссылка на статью:
Жиляков Л.А., Костановский А.В. Оптические свойства тонких пленок нитрида алюминия, ТВТ, 1992. Т. 30. № 2. С. 290

High Temp. 1992, v.30, №2, pp. 226-229