Статья
Исследование плазмы
2012. Т. 50. № 4. С. 491–495
Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С.
Экспериментальное исследование плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца
Представлены результаты экспериментального исследования неравновесного плазмохимического метода получения поликристаллического кремния из кварца. Показано, что с использованием созданной электродуговой установки может быть получен поликристаллический кремний с выходом до 60% в виде сфероподобных частиц со средним размером 100–200 мкм чистотой 99.8–99.9%.
Ссылка на статью:
Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Экспериментальное исследование плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца, ТВТ, 2012. Т. 50. № 4. С. 491
High Temp. 2012, v.50, №4, pp. 459-463
Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Экспериментальное исследование плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца, ТВТ, 2012. Т. 50. № 4. С. 491
High Temp. 2012, v.50, №4, pp. 459-463