Статья

Исследование плазмы
2016. Т. 54. № 5. С. 655–662
Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С.
Об эффективности плазмохимического метода получения кремния из кварца в аргоно-водородном потоке
Аннотация
Cформулированы кинетическая модель неравновесных химических процессов в газовых смесях $\rm Si$, $\rm O$, $\rm H$ и $\rm Ar$ и модель расчета основных параметров плазменных установок для реализации плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца в аргоно-водородных газоплазменных потоках. Выявлены критерии и определены общие условия, при которых достигается максимальный выход кремния. Определены основные режимные и конструктивные параметры плазменных установок. Показано, что при потребляемой электрической мощности стационарного плазмотрона $100$ кВт расчетная производительность установки (по парообразному $\rm Si$) может составлять величину порядка $10^{–2}$ г/c.
Ссылка на статью:
Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Об эффективности плазмохимического метода получения кремния из кварца в аргоно-водородном потоке, ТВТ, 2016. Т. 54. № 5. С. 655

High Temp. 2016, v.54, №5, pp. 619-626