Статья

Архив, 2016, № 5

Исследование плазмы

2016. Т. 54. № 5. С. 655–662

Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С.

Об эффективности плазмохимического метода получения кремния из кварца в аргоно-водородном потоке

Cформулированы кинетическая модель неравновесных химических процессов в газовых смесях $\rm Si$, $\rm O$, $\rm H$ и $\rm Ar$ и модель расчета основных параметров плазменных установок для реализации плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца в аргоно-водородных газоплазменных потоках. Выявлены критерии и определены общие условия, при которых достигается максимальный выход кремния. Определены основные режимные и конструктивные параметры плазменных установок. Показано, что при потребляемой электрической мощности стационарного плазмотрона $100$ кВт расчетная производительность установки (по парообразному $\rm Si$) может составлять величину порядка $10^{–2}$ г/c.

УДК: 533.92:544.557
DOI: 10.7868/S0040364416040086
WoS: 000386560500002
Scopus: 2-s2.0-84991585494

Ссылка на статью:
Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Об эффективности плазмохимического метода получения кремния из кварца в аргоно-водородном потоке, ТВТ, 2016. Т. 54. № 5. С. 655

High Temp. 2016, v.54, №5, pp. 619-626