Статья

Архив, 2000, № 3

Исследование плазмы

2000. Т. 38. № 3. С. 386–389

Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В.

Характеристики поперечного объемного разряда в $\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ и смеси $\mathrm{Ar}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$

Определены условия зажигания и характеристики поперечного объемного разряда наносекундной длительности в среде фреона-12 $(\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2)$ и смеси $\mathrm{Ar}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$. Показано, что в УФ-ВУФ-области спектра плазма на основе молекул $\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ является источником излучения возбужденных атомов углерода и молекул $\mathrm{Cl}_2$. Объемная стадия разряда существует при $U_{\text{зар}}\le12$ кВ и $[\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2]=0.1-3$ кПа, а вид осциллограмм тока и напряжения подобен соответствующим характеристикам поперечного разряда с допробойным размножением электронов в смесях $\mathrm{He}(\mathrm{Ne})/\mathrm{SF}_6(\mathrm{F}_2)$. Плазма смеси $\mathrm{Ar}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ является источником излучения полос $\lambda=258$ нм для $\mathrm{Cl}_2^*$, $193$ нм для $\mathrm{ArF}$, $175$ нм для $\mathrm{ArCl}$. Такие источники могут использоваться в импульсной коротковолновой фотометрии, микроэлектронике, фото- и биохимии.

УДК: 539.186.537.521
WoS: 000087709400005
Scopus: 2-s2.0-0033819183

Ссылка на статью:
Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. Характеристики поперечного объемного разряда в $\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ и смеси $\mathrm{Ar}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$, ТВТ, 2000. Т. 38. № 3. С. 386

High Temp. 2000, v.38, №3, pp. 363-366