Статья

Тепломассообмен и физическая газодинамика
1998. Т. 36. № 2. С. 279–284
Гладуш Г.Г., Куркина Л.Г., Родионов Н.Б.
Особенности газодинамических и диффузионных процессов в реакторах для нанесения тонких пленок
Аннотация
Проведен численный анализ закономерностей течения и массопереноса в химических реакторах, предназначенных для нанесения тонких пленок с помощью плазменных струй. Исследуется течение невязкого газа с диффузией малой примеси в реакторе с возвратными струями. Показано, что характер течения существенно зависит от геометрических размеров установки, в частности от соотношения ширины камеры и поперечного размера входной струи. Изучены особенности массопереноса в широких и узких струях, обусловленные диффузией и вихревым движением газа.
Ссылка на статью:
Гладуш Г.Г., Куркина Л.Г., Родионов Н.Б. Особенности газодинамических и диффузионных процессов в реакторах для нанесения тонких пленок, ТВТ, 1998. Т. 36. № 2. С. 279

High Temp. 1998, v.36, №2, pp. 263-268