Статья

Краткие сообщения
1995. Т. 33. № 1. С. 163–166
Костановский А.В., Гусев М.К.
Осаждение тонких пленок при вакуум-термическом испарении нитрида алюминия

УДК: 546.621.171.539.216
WoS: A1995QM61500032
Ссылка на статью:
Костановский А.В., Гусев М.К. Осаждение тонких пленок при вакуум-термическом испарении нитрида алюминия, ТВТ, 1995. Т. 33. № 1. С. 163

High Temp. 1995, v.33, №1, pp. 162-164