Статья

Архив, 1992, № 2

Методы экспериментальных исследований и измерений

1992. Т. 30. № 2. С. 372–378

Магунов А.Н., Мудров Е.В.

Измерение температуры кремниевой пластины в плазмохимическом реакторе методом лазерной интерферометрии

Проведено экспериментальное определение температурной зависимости показателя преломления монокристаллического кремния в диапазоне $20$–$350^{\circ}\text{C}$. Методом интерферометрии зарегистрирована кинетика нагрева и остывания пластины в кислородной плазме ВЧ-разряда. Температурная чувствительность метода может достигать $200\%$ К$^{-1}$ мм$^{-1}$, пороговая чувствительность (изменение температуры, которое можно обнаружить) $\simeq 0,01^{\circ}\text{C}$.

УДК: 533.924+535.417+536.5+621.315.592
WoS: A1992LB60000022

Ссылка на статью:
Магунов А.Н., Мудров Е.В. Измерение температуры кремниевой пластины в плазмохимическом реакторе методом лазерной интерферометрии, ТВТ, 1992. Т. 30. № 2. С. 372

High Temp. 1992, v.30, №2, pp. 300-305