Статья

Архив, 1989, № 6

Методы экспериментальных исследований и измерений

1989. Т. 27. № 6. С. 1185–1189

Кириллин А.В., Костановский А.В., Жиляков Л.А.

Синтез тонких пленок нитрида алюминия

Рассмотрен способ получения тонких пленок нитрида алюминия методом прямого термического азотирования пленок алюминия. Показано, что при температурах $1200$–$1250^\circ$ С и давлениях азота $0{,}15$–$1$ МПа происходит полное азотирование пленок алюминия толщиной $0{,}7$–$0{,}8$ мкм. Получены текстурированные пленки, идентифицированные как $\mathrm{AlN}$, методом рентгеноструктурного анализа на ДРОН-3.

УДК: 546.621.171.1:539.216
WoS: A1989DY47000022

Ссылка на статью:
Кириллин А.В., Костановский А.В., Жиляков Л.А. Синтез тонких пленок нитрида алюминия, ТВТ, 1989. Т. 27. № 6. С. 1185

High Temp. 1989, v.27, №6, pp. 948-952