Статья

Теплофизические свойства веществ
1991. Т. 29. № 5. С. 899–902
Жиляков Л.А., Костановский А.В.
Электрофизические свойства тонких пленок, полученных при реактивном испарении нитрида алюминия
Аннотация
Проведены исследования электрофизических свойств тонких пленок нитрида алюминия, полученных путем испарения его конденсированной фазы в атмосфере азота. Реализован низкотемпературный вариант метода, позволяющий осуществлять формирование сплошных тонких пленок нитрида алюминия с заданными электрофизическими свойствами.

УДК: 546.621.171 : 539.216.2
WoS: A1991JB10800011
Ссылка на статью:
Жиляков Л.А., Костановский А.В. Электрофизические свойства тонких пленок, полученных при реактивном испарении нитрида алюминия, ТВТ, 1991. Т. 29. № 5. С. 899

High Temp. 1991, v.29, №5, pp. 708-711