Статья

Архив, 2013, № 1

Исследование плазмы

2013. Т. 51. № 1. С. 6–12

Ефремов А.М., Давлятшина А.А., Светцов В.И.

Электрофизические параметры и состав плазмы в смесях $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{N}_2$

Методом математического моделирования получены данные по энергетическим параметрам электронного газа, скоростям образования и концентрациям заряженных и нейтральных частиц в плазме тлеющего разряда постоянного тока ($p=40$–$200$ Па, $i_p=15$–$35$ мА) в зависимости от состава смеси $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{N}_2$. Установлено, что разбавление $\mathrm{HCl}$ азотом сопровождается ростом концентрации электронов в плазме, но не приводит к изменению интенсивности ионной бомбардировки поверхности, контактирующей с плазмой. Показано, что увеличение степени диссоциации $\mathrm{HCl}$ в разбавленных смесях связано с ростом эффективности диссоциации электронным ударом.

УДК: 537.525
WoS: 000315044900001
Scopus: 2-s2.0-84874088625

Ссылка на статью:
Ефремов А.М., Давлятшина А.А., Светцов В.И. Электрофизические параметры и состав плазмы в смесях $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{N}_2$, ТВТ, 2013. Т. 51. № 1. С. 6

High Temp. 2013, v.51, №1, pp. 1-6