Статья

Исследование плазмы
2011. Т. 49. № 6. С. 803–815
Лебедев Ю.А., Татаринов А.В., Эпштейн И.Л.
3D–моделирование электродинамики электродного СВЧ–разряда пониженного давления
Аннотация
Исследована структура СВЧ-полей в разрядной камере, используемой для получения электродного СВЧ-разряда. Показано, что 3D-моделирование позволяет количественно определить детали конструкции разрядной камеры, оптимальные для генерации разряда. Приведены результаты самосогласованного моделирования разряда в азоте и водороде при давлении $1$ Тор, качественно согласующиеся с результатами экспериментов.
Ссылка на статью:
Лебедев Ю.А., Татаринов А.В., Эпштейн И.Л. 3D–моделирование электродинамики электродного СВЧ–разряда пониженного давления, ТВТ, 2011. Т. 49. № 6. С. 803

High Temp. 2011, v.49, №6, pp. 775-787