Статья

Исследование плазмы
2017. Т. 55. № 6. С. 685–688
Дыренков А.В., Смирнов Б.М., Терешонок Д.В.
Генерация пористой металлической пленки на основании дугового разряда
Аннотация
Метод испарения медной проволоки используется для получения пористой медной пленки на поверхности кремния. Найдено распределение поверхностных кластеров по размерам и плотности. Средний размер полученных кластеров при оптимальных условиях (на расстоянии $2$ мм от разряда) – порядка $0.5$ мкм, плотность напыления – $3$–$5$ кластеров на кв. мкм.
Ссылка на статью:
Дыренков А.В., Смирнов Б.М., Терешонок Д.В. Генерация пористой металлической пленки на основании дугового разряда, ТВТ, 2017. Т. 55. № 6. С. 685

High Temp. 2017, v.55, №6, pp. 841-843