Статья

Архив, 2013, № 5

Краткие сообщения

2013. Т. 51. № 5. С. 787–790

Костановский А.В., Пронкин А.А., Кириченко А.Н.

Формирование тонкой пленки, содержащей $\alpha$-карбин, при магнетронном распылении графитовой мишени и воздействии внешнего источника фотоактивации

Экспериментально показана возможность формирования тонкой пленки, содержащей $\alpha$-карбин, при магнетронном распылении графитовой мишени и воздействии внешнего источника фотоактивации со спектральной плотностью радиационного потока на длине волны $300\text{ нм} \sim5 \times 10^8\text{ Вт/м}^3$ и при температуре подложки $\sim660\text{ К}$.

УДК: 539.23:544.522.122
DOI: 10.7868/S0040364413050128
WoS: 000325703200017
Scopus: 2-s2.0-84886065680

Ссылка на статью:
Костановский А.В., Пронкин А.А., Кириченко А.Н. Формирование тонкой пленки, содержащей $\alpha$-карбин, при магнетронном распылении графитовой мишени и воздействии внешнего источника фотоактивации, ТВТ, 2013. Т. 51. № 5. С. 787

High Temp. 2013, v.51, №5, pp. 712-715