Шелыхманов Е.Ф. - список статей
- Особенности спектра плазмы ВЧ-разряда при травлении алюминия
Гусев В.В., Долгополов В.М., Словецкий Д.И., Шелыхманов Е.Ф.
Новости
Информация
Импакт-фактор 2022: 1.0
ISSN: 0040-3644
ISSN: 0018-151X (Англ. версия)
ISSN: 1608-3156 (Эл. версия)
ISSN: 1608-3156 (Эл. версия)
